西门子半导体MES套件V8 事件模块功能
Opcenter Execution Semiconductor(之前称为 Camstar Semiconductor Suite)半导体套件可以有效地取代传统孤立的制造系统,以满足半导体制造不断变化的苛刻要求。
图例:MES的事件模块
1、工厂生产异常事件
在日常的工厂生产中,可能会有不同的质量事件导致生产无法进行,通常的做法时产线人员针对产品批次执行暂停Hold动作,对于设备机台切换到异常暂停状态,人工针对问题进行分析(人机料法环),PE和IE以及QE可能会介入这个问题的处理,在事件中我们可以记录FEMA的失效模式、失效类型以及失效原因(有可能需要对接QMS质量系统,调用创建CAPA接口),事件处理需要对应的解决方案(处理代码、处理方案、备注信息),最后是关闭这个事件(处理完成关闭或事件升级到QMS系统)
图例:MES生产事件任务页面
2、西门子MES的异常事件模块
西门子的MES系统Opcenter Execution Semiconductor平台针对这种业务需求提供了对应事件模块,从事件的创建,到不良原因和失效数据的记录,记录影响到的产品批次、物料批次以及生产机台,事件的处理方案的记录,同时可以按组织配置事件的审批签核的流程(分配、审批、转移、取消)以及责任人员Owner,有权限的人员在系统中批量对事件相关批次做暂停、跳站、报废、放行等处置动作。
事件管理配置步骤
1.事件建模
组织建模
图例:组织建模页面
图例:审批多层设置页面
图例:审批结果设置页面
图例:检查项目列表页面
2. 事件记录
在半导体套件的车间主操作页面WIPMain,选择批次,选择按钮“Production Event”生产事件,弹出对应的事件创建页面。
图例:生产车间操作主页面
图例:生产事件创建页面
作业员如果分配了事件任务,他可以在系统页面上方看到对应的事件信息
图例:系统事件提醒窗
图例:事件查看和编辑页面
事件任务主操作页面,可以编辑失效原因Failure,记录影响的物料批次Affected Material,日志信息Log,上传相关文档Attachments,原因代码分析Investigation,输入处置数据Disposition,输入影响到的其他产品批次Cross References,输入检查列表数据Checklist,解决问题的记录Resolution。
事件功能按钮包含了:Triage处置、Change Category变更事件分类、Reassign任务分配给其他人、Approve审批、Cancel Approve取消审批、Resolve修复问题、Reopen重新打开事件、Assign CheckList 分配检查列表
批次处理按钮包含了:Hold暂停、Release放行、Move non-std跳站、Scrap 报废、Split 拆批、Split By Item按晶圆/Panel拆批。
更多信息
西门子于2020年5月21日发布了Opcenter Execution Semiconductor 半导体套件8.2版本。
图例:西门子Opcenter Execution Semiconductor 半导体套件功能模块